zct:国产装备获认可|玛奇纳米派瑞林CVD镀膜设备交付恒诺微并完成调试

作者:云赢猫技术有限公司 浏览: 发表时间:2026-11-10 09:12:15

近日,玛奇纳米自研派瑞林CVD真空镀膜设备,顺利完成恒诺微电子(嘉兴)有限公司现场安装、调试与工艺验证,正式投入产线使用。恒诺微作为全球知名EMS制造服务商,深耕半导体封装、微电子组装与测试领域,配套汽车电子、工业传感等高端赛道,对产线设备稳定性、工艺一致性有着严苛标准,本次合作,是外资高端电子制造企业对国产派瑞林镀膜装备的肯定。

半导体与微组装元器件结构精细,引线框架、微型传感组件、PCB封装件防护要求高,派瑞林涂层是这类产品防潮、绝缘、耐介质腐蚀的关键工艺。恒诺微原有防护工艺体系成熟,在新增产线选型阶段,从设备底层控制、工艺可追溯性、长期运维成本、本地化技术响应多个维度开展评估,***终选择玛奇自研CVD镀膜设备。

玛奇纳米坚持设备自主研发,真空腔体、蒸发裂解单元、真空测控模块均自主设计制造,区别于外购配件组装机型,工艺参数底层可控,可稳定实现室温气相沉积,生成厚度均匀、无针孔、低应力的派瑞林薄膜。设备采用模块化架构,可适配多品类微电子工件,灵活匹配封测试样、小批量试产以及连续性量产需求,契合恒诺多项目、多品类同步推进的生产节奏。

项目落地期间,玛奇技术团队与恒诺微电子工艺、产线工程师紧密协同,结合其微电子产品的特点,优化治具方案与沉积参数,同步交付标准化操作文件、工艺标定记录与安全运维资料。设备进场后,工程师完成就位对接、真空检漏、空载联调、样件试镀等全流程工作,经过持续稳定性跑测,各项镀膜指标满足客户规范,顺利通过验收。

外资高端电子制造选择国产自研装备,是国内纳米防护装备产业持续进步的缩影。玛奇纳米将持续迭代设备软硬件,打磨微电子场景专属工艺方案,依托长三角区位优势,为半导体封测、汽车电子、精密传感领域客户提供派瑞林镀膜设备、工艺开发、驻场维保一体化服务,助力高端电子制造的国产化配套升级。

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